МЭМС - это аббревиатура от микромоторной системы. Индивидуальная миниатюризация готового продукта составляет миллиметры или даже микроны. Он широко используется в коммуникациях 5G, мониторинге безопасности, промышленной автоматизации, автомобильной электронике и других областях. На данном этапе можно сказать, что почти вся электронная продукция применяется на МЭМС.
Преимущества устройства MEMS: небольшие размеры, легкий вес, простота интеграции, низкое энергопотребление, высокая чувствительность и многие другие преимущества. И может производиться серийно. Хотя упаковка МЭМС может производиться серийно, она не универсальна. В соответствии с различными функциональными типами компонентов MEMS, структура компонентов и методы упаковки различаются, а выделенный тип выше.
На этом этапе обычно используется технология сборки на уровне микросхемы. Естественно, что к точности сборки, условиям эксплуатации и способам центровки предъявляются довольно жесткие требования.
Трудности сборки на уровне микросхемы МЭМС
1. Высокий стандарт точности упаковки
Программное обеспечение системы МЭМС включает в себя уникальный интерфейс передачи данных, корпус, внутреннюю стенку и другие конструкции, которые увеличивают сложность управления положением и углом во время захвата и размещения в течение всего процесса соединения проводов компонентов МЭМС и многофункциональных подложек.
2. Материал хрупкий и легко ломается.
Устройства MEMS, такие как микроакселерометры, микродвигатели и т. Д., Обычно имеют встроенные механические конструкции, такие как полости или консоли. Эти структуры имеют небольшие размеры и имеют гораздо меньшую механическую прочность, чем микросхемы IC. Они очень уязвимы для физического контакта во время сборки и других процессов.
Многие части устройства MEMS не только маленькие по размеру, но также хрупкие и хрупкие, например, глубокие канавки и секторы, поэтому рабочее давление, прикладываемое во время склеивания, очень важно. Если рабочее давление слишком мало, соединение не будет закрыто; если рабочее давление будет слишком высоким, компоненты будут повреждены.
Можно видеть, что точные уровни точности и амплитуды связи являются необходимыми условиями для повышения скорости передачи радиочастотного приемопередатчика MEMS.
Когда толщина устройства MEMS составляет от 50 до 150 мкм, выбранное рабочее давление соединения проводов составляет от 50 до 100 г, а смещение при вращении должно быть менее 0,3 °, так что повреждение компонентов может быть в значительной степени уменьшено. , и соответствие может быть улучшено. Темп.
Высокоточное выравнивание, патч-тип, для обеспечения скорости прохода
Обратная связь микронного уровня для получения точных данных, точность управления усилием ± 0,01 Н, уровень точности линейной повторяемости ± 2 мкм, уровень точности повторяемости вращения ± 0,01 °, радиальное отклонение менее 10 мкм, разрешение энкодера 1 мкм, доступно в стабильном выходе даже при высоких -скорость работы, повышение квалификации и стабильности.
Вакуумное всасывание, регулируемое рабочее давление, снижение потребления
Линейный роторный двигатель Guoao имеет конструкцию с полой осью Z, зарезервированное трахеальное гнездо, вакуумное отсасывание, подключи и работай, и может предоставлять индивидуальные услуги в зависимости от структуры и характеристик компонентов;
Содержит" мягкую посадку" Функция, которая может обеспечить стабильное управление усилием в пределах ± 1,5 г и может настраивать такие параметры, как скорость, ускорение и управление усилием, так что установочная головка может касаться компонентов МЭМС с очень точным рабочим давлением, уменьшая истощение.
& quot; Z + R" Интегрированная конструкция оси для увеличения скорости
Инновационное двухосное интегрированное решение сочетает в себе традиционный серводвигатель" + шарико-винтовая передача" в один, который хорошо справляется с проблемой нагрузки собственного веса по оси Z, и полный компонент Pick& Размещение, размещение и другие действия с высокой скоростью и точностью. Усилие Кривая плавная, пиковое усилие составляет 8-50 Н, эффективный ход составляет 10-50 мм, а сверхвысокий срок службы обеспечивает эффективное производство.
